Установка сушки пластин
Установка предназначена для сушки полупроводниковых пластин методом центрифугирования после проведения операция химической обработки или травления. Обработка пластин происходит в групповых кассетах. В ходе выполнения операции пластины сначала орошаются деионизованной водой, а после обдуваются потоком нагретого до температуры 75°С азота. Загрузка и выгрузка кассет с пластинами осуществляется вручную. Установка предназначена для работы в чистых помещениях класса 100.
Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение имеет простой и понятный интерфейс и позволяет задавать оператору различные рецепты обработки, которые включают в себя две стадии с индивидуальными значениями скорости центрифуги, времени обработки и температуры сушки.
В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и обеспечить постоянство результата отмывки-сушки.
Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение имеет простой и понятный интерфейс и позволяет задавать оператору различные рецепты обработки, которые включают в себя две стадии с индивидуальными значениями скорости центрифуги, времени обработки и температуры сушки.
В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и обеспечить постоянство результата отмывки-сушки.